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楔形鍵合點(diǎn)剪切測試實(shí)用性的科學(xué)評估

 更新時間:2026-01-13 點(diǎn)擊量:108

 

在半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域,焊球-剪切測試因其直觀、有效而成為評估金球鍵合點(diǎn)質(zhì)量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。然而,對于線徑更細(xì)、形貌更復(fù)雜的超聲鋁楔形鍵合點(diǎn),直接沿用剪切測試方法進(jìn)行強(qiáng)度評估是否科學(xué)可靠?今天,科準(zhǔn)測控小編就來和大家一起探討這個在鍵合質(zhì)量評估中頗具挑戰(zhàn)性的問題:剪切測試這一評估球形鍵合點(diǎn)的“利器",是否同樣適用于超聲楔形鍵合點(diǎn)?

 

一、對比實(shí)驗(yàn)

為回答這個核心問題,美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院(NIST)與桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室(Sandia)進(jìn)行了一次嚴(yán)謹(jǐn)?shù)穆?lián)合研究。

實(shí)驗(yàn)設(shè)計如下:

材料:使用三組線徑為25μm1密耳)、含1%硅的鋁絲。

工藝:在NIST,通過超聲楔形鍵合工藝,將這些鋁絲鍵合到同一晶圓的鋁金屬層上,形成大量鍵合點(diǎn)。

方法:隨機(jī)選擇一半鍵合點(diǎn)進(jìn)行破壞性拉力測試,隨后將晶圓送至Sandia,對剩余鍵合點(diǎn)進(jìn)行剪切測試。

目標(biāo):直接對比兩種測試方法對同一批鍵合點(diǎn)評估結(jié)果的差異性與相關(guān)性。

 

二、測試結(jié)果

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)結(jié)果如圖:

image.png 

核心發(fā)現(xiàn)是:拉力測試與剪切測試的結(jié)果呈現(xiàn)顯著的、系統(tǒng)性的背離。

具體表現(xiàn)為:隨著鍵合點(diǎn)形變(即壓扁程度)的增加:

拉力測試值明顯下降剪切測試值卻保持穩(wěn)定甚至可能上升。

這一看似矛盾的現(xiàn)象,其根源在于兩種測試方法所評估的失效機(jī)理與敏感區(qū)域不同。

 

三、機(jī)理剖析:拉力與剪切,究竟測的是什么?

要理解數(shù)據(jù)背離,必須深入鋁楔形鍵合的冶金學(xué)本質(zhì)。

1. 拉力測試的敏感區(qū):脆弱的“腳跟"

在超聲鋁楔形鍵合過程中,引線在鍵合工具壓力下發(fā)生塑性形變。鍵合點(diǎn)的“腳跟"部位(即引線進(jìn)入鍵合點(diǎn)的彎曲根部)經(jīng)歷了最劇烈的變形和加工硬化,成為整個結(jié)構(gòu)的力學(xué)薄弱點(diǎn)。

拉力測試垂直向上施力,其失效通常始于這個過度加工、已然脆弱的“腳跟"部位發(fā)生頸縮或斷裂。因此,形變越大,腳跟越弱,拉力值就越低。拉力測試靈敏地反映了這一“最弱環(huán)節(jié)"的強(qiáng)度。

2. 剪切測試的“盲區(qū)"與敏感區(qū):焊接界面

剪切測試從側(cè)面水平推切鍵合點(diǎn)。其工具作用于鍵合點(diǎn)主體,避開了“腳跟"區(qū)域。

剪切失效主要發(fā)生在鋁絲與鋁焊盤之間的焊接界面。其強(qiáng)度直接取決于界面原子結(jié)合的緊密程度,即有效的焊接面積。

形變增加,雖然惡化了腳跟強(qiáng)度,卻同時增大了鋁絲與焊盤的接觸與焊接面積。因此,剪切力值可能保持不變或增加,它反映的是界面結(jié)合質(zhì)量,而非整體結(jié)構(gòu)的最弱處。

 

簡言之:拉力測的是“結(jié)構(gòu)瓶頸"(腳跟),剪切測的是“界面結(jié)合"(焊區(qū))。一個鍵合點(diǎn)即使腳跟已存在裂紋甚至近乎斷裂,只要界面焊接良好,仍能測出很高的剪切力值。

image.png 

四、工程實(shí)踐中的結(jié)論與啟示

基于上述機(jī)理,可以得出以下關(guān)鍵結(jié)論:

1. 局限性:剪切測試并非評估細(xì)鋁絲楔形鍵合點(diǎn)整體可靠性的有效通用工具,尤其當(dāng)鍵合點(diǎn)形變超過線徑2倍以上時。它無法預(yù)警由“腳跟"脆弱導(dǎo)致的早期拉力失效風(fēng)險。

2. 有條件的使用價值:在充分理解其原理局限的前提下,剪切測試儀因其高精度(定位精度達(dá)微米級)的優(yōu)勢,有時可用于專項(xiàng)評估楔形鍵合點(diǎn)的焊接界面質(zhì)量。

3. 現(xiàn)代工藝下的可行性窗口:對于采用高頻鍵合(≥100kHz)的現(xiàn)代設(shè)備,推薦的楔形鍵合點(diǎn)最小形變約為線徑的1.25倍。在此規(guī)范下,除非使用線徑≤25μm的極細(xì)引線,否則由“腳跟"過度弱化導(dǎo)致的問題不再突出,此時使用剪切測試進(jìn)行工藝監(jiān)控通常是可行的。

 

 

NISTSandia的這項(xiàng)研究深刻揭示:在精密制造領(lǐng)域,沒有放之四海而皆準(zhǔn)的測試方法。理解不同測試方法背后的物理機(jī)制,是科學(xué)評估鍵合質(zhì)量的前提??茰?zhǔn)測控的精密測試設(shè)備與分析方案,正是為了幫助工程師獲得這種深層洞察而設(shè)計,通過專業(yè)的測試技術(shù)與解決方案,賦能工程師做出更精準(zhǔn)、更可靠的判斷,共同守護(hù)半導(dǎo)體封裝的品質(zhì)基石。

 

 


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